EDS是一個電子殼層的電子被外來粒子或者能量激發，留下一個空位，然后外層電子躍遷至這個空位，同時就會放出特征X射線，這樣不同殼層之間的電子轉移導致的能量差就會有不同的譜線，EDS譜線就是把這些特征X射線脈沖的累積分開得到的。
這樣一來，譜線越多，說明外面的電子占有殼層越多。而定量分析時是根據不同元素來選擇不同線系的譜峰強度以及這個元素的響應值來做計算的，所以譜峰多跟元素含量沒有關系。
EDS能譜分析范圍
混合物，薄膜，腐蝕產物，顆粒物，粉末，芯片，瀝青，石墨等。
分析項目：EDS能譜分析
EDS能譜分析報告有哪些作用?
1、銷售使用。(有了第三方檢測報告，能讓自己的產品在銷售方面體現出一定的優勢性)
2、改善產品質量使用。(通過檢測報告數據，發現自身產品問題所在，提高產品質量，降低生產成本)
3、產品進出口使用。
4、產品質控及原因分析使用。
5、科研論文數據使用。
EDS能譜分析標準
GB/T束分析 分析電鏡(AEM/EDS)納米薄標樣通用規范
GB/T 表面化學分析 X射線光電子能譜 薄膜分析結果的報告
GB/T束分析 掃描電鏡-能譜法 大氣細粒子單顆粒形貌與元素分析
GB/T 俄歇電子能譜儀檢定方法