——綜述篇——第1章：半導體設備零部件行業綜述及數據來源說明1.1 半導體設備零部件的界定1.1.1 半導體設備零部件的定義1.1.2 半導體設備零部件專業術語1.1.3 半導體設備零部件的特征1.1.4 半導體設備零部件所處行業1、《國民經濟行業分類》2、《戰略性新興產業分類》1.2 半導體設備零部件所處產業鏈環節及其重要性1.3 半導體設備零部件主要類型1.4 本報告研究范圍界定說明1.5 本報告數據來源及統計標準說明1.5.1 本報告quanwei數據來源1.5.2 本報告研究方法及統計標準——現狀篇——第2章：全球半導體設備零部件行業發展現狀及趨勢2.1 全球半導體設備零部件行業發展歷程2.2 全球半導體設備零部件行業專利和技術2.2.1 全球半導體設備零部件行業專利情況2.2.2 全球半導體設備零部件行業先進技術1、國外射頻電源技術2、國外半導體閥技術3、國外靜電吸盤技術2.3 全球半導體設備零部件行業發展現狀2.3.1 全球半導體設備零部件行業整體市場規模1、全球半導體及半導體設備市場規模2、全球半導體設備零部件市場規模2.3.2 全球半導體設備零部件行業細分市場結構2.3.3 全球半導體設備零部件行業細分市場規模2.4 全球半導體設備零部件行業市場競爭態勢2.4.1 全球半導體設備零部件行業供應商情況2.4.2 全球半導體設備零部件企業成長路徑分析2.4.3 全球半導體設備零部件行業市場份額2.4.4 全球半導體設備零部件行業投融資&并購1、全球半導體設備零部件行業投融資2、全球半導體設備零部件行業并購交易2.5 全球半導體設備零部件行業區域發展格局2.5.1 全球半導體設備零部件區域發展格局2.5.2 重點區域市場分析：美國2.5.3 重點區域市場分析：歐洲2.5.4 重點區域市場分析：日本2.5.5 國外半導體設備零部件發展經驗借鑒2.6 全球半導體設備零部件行業市場前景預測2.7 全球半導體設備零部件行業發展趨勢洞悉第3章：中國半導體設備零部件行業發展現狀及規模3.1 中國半導體設備零部件行業發展歷程3.2 中國半導體行業自主化進程必要性分析3.2.1 美國對華半導體行業技術限制情況1、《2022美國芯片法案》的負面影響2、美國對華半導體行業的限制措施3、美國對華技術打壓影響分析3.2.2 日本對華半導體行業技術限制情況1、日本對華半導體行業的限制措施2、日本對華技術打壓影響分析3.2.3 荷蘭對華半導體行業技術限制情況1、荷蘭對華半導體行業的限制措施2、荷蘭對華技術打壓影響分析3.2.4 國際對華半導體零部件行業限制的影響總結3.3 中國半導體設備零部件行業技術進展3.3.1 國家基金對中國半導體產業的扶持投入3.3.2 中國半導體設備零部件技術發展概況1、代表性企業研發模式2、代表性企業專利情況3、技術路線及工藝流程3.3.3 中國半導體設備零部件關鍵技術現狀與突破1、精密機械制造技術2、表面處理特種工藝技術3、半導體設備焊接技術3.3.4 中國半導體設備零部件行業技術發展方向3.3.5 技術環境對半導體設備零部件行業的影響3.4 中國半導體設備零部件的商業模式3.5 中國半導體設備零部件行業供給情況分析3.5.1 中國半導體設備零部件行業生產企業3.5.2 中國半導體設備零部件的生產模式3.5.3 中國半導體設備零部件行業產能情況1、代表性企業產能情況2、代表性企業產能擴張計劃3.6 中國半導體設備零部件行業市場需求3.6.1 中國半導體設備行業發展現狀分析1、半導體設備行業產品結構2、半導體設備行業應用領域3、半導體設備行業市場規模4、半導體設備行業對零部件的影響3.6.2 中國大陸晶圓制造現狀對半導體設備零部件的需求1、中國大陸晶圓制造廠資本開支情況2、中國大陸晶圓制造產能情況3、中國大陸晶圓制造對半導體零部件需求情況3.6.3 中國半導體設備零部件行業客戶認證體系3.6.4 中國半導體設備零部件行業市場價格3.7 中國半導體設備零部件行業國產化率分析3.7.1 中國半導體行業整體國產化率1、中國半導體設備行業整體國產化率2、中國半導體設備細分產品國產化率3.7.2 中國半導體設備零部件行業國產化率3.7.3 中國半導體行業不同環節國產化率對比3.8 中國半導體設備零部件行業市場規模體量3.9 中國半導體設備零部件行業發展痛點及挑戰第4章：中國半導體設備零部件行業競爭狀況及格局4.1 中國半導體設備零部件競爭者入場及戰略布局4.1.1 中國半導體設備零部件競爭者入場進程4.1.2 中國半導體設備零部件競爭者集群分布4.1.3 中國半導體設備零部件競爭者區域熱力圖4.1.4 中國半導體設備零部件競爭者戰略布局狀況4.2 中國半導體設備零部件行業市場競爭格局4.2.1 中國半導體設備零部件行業市場競爭態勢4.2.2 中國半導體設備零部件行業市場競爭格局4.2.3 中國半導體設備零部件行業市場集中度4.3 中國半導體設備零部件行業波特五力模型分析4.3.1 半導體設備零部件行業供應商的議價能力4.3.2 半導體設備零部件行業消費者的議價能力4.3.3 半導體設備零部件行業新進入者威脅分析4.3.4 半導體設備零部件行業替代品威脅分析4.3.5 半導體設備零部件行業現有企業競爭情況4.3.6 半導體設備零部件行業競爭狀態總結4.4 中國和國外企業的差異分析4.4.1 中國企業和海外企業的差異分析4.4.2 中國企業在全球市場的優劣勢分析4.5 中國半導體設備零部件行業投融資&并購重組4.5.1 半導體設備零部件投融資1、半導體設備零部件行業投融資概述2、半導體設備零部件行業投融資統計3、半導體設備零部件行業投融資規模4、半導體設備零部件行業投融資解讀5、半導體設備零部件行業投融資趨勢4.5.2 半導體設備零部件兼并重組1、半導體設備零部件兼并重組階段、方式及動因2、半導體設備零部件兼并重組事件匯總3、半導體設備零部件兼并重組案例分析第5章：中國半導體設備零部件產業鏈全景及配套產業發展5.1 中國半導體設備零部件產業鏈結構梳理5.2 中國半導體設備零部件產業鏈生態圖譜5.3 中國半導體設備零部件產業鏈區域熱力圖5.4 中國半導體設備零部件產業價值鏈及成本投入5.4.1 中國半導體設備零部件產業價值鏈分析圖5.4.2 中國半導體設備零部件行業成本投入結構5.4.3 中國半導體設備零部件行業價格傳導機制5.5 半導體設備零部件上游原材料5.5.1 半導體設備零部件原材料概述5.5.2 半導體設備零部件金屬材料5.5.3 半導體設備零部件非金屬材料5.5.4 半導體設備零部件合金材料5.6 配套產業布局對半導體設備零部件行業的影響總結第6章：中國半導體設備零部件行業細分產品市場分析6.1 半導體設備零部件行業細分市場概況6.1.1 半導體設備零部件細分市場特性6.1.2 半導體設備零部件細分市場技術門檻6.2 半導體設備零部件細分市場：機械類零部件6.2.1 機械類零部件概述6.2.2 機械類零部件市場概況6.2.3 機械類零部件發展趨勢6.3 半導體設備零部件細分市場：電氣類零部件6.3.1 電氣類零部件概述6.3.2 電氣類零部件市場概況6.3.3 電氣類零部件發展趨勢6.4 半導體設備零部件細分市場：機電一體類零部件6.4.1 機電一體類零部件概述6.4.2 機電一體類零部件市場概況6.4.3 機電一體類零部件發展趨勢6.5 半導體設備零部件細分市場：氣體/液體/真空系統類6.5.1 氣體/液體/真空系統類概述6.5.2 氣體/液體/真空系統類市場概況6.5.3 氣體/液體/真空系統類發展趨勢6.6 半導體設備零部件行業其他細分6.6.1 儀器儀表類6.6.2 光學類零部件6.6.3 定制裝置6.7 中國半導體設備零部件行業細分市場戰略地位分析第7章：中國半導體設備零部件行業細分應用市場分析7.1 半導體設備零部件應用場景&行業領域分布7.1.1 半導體設備零部件應用設備分布7.1.2 半導體設備零部件應用行業領域7.2 半導體設備零部件細分應用：半導體刻蝕設備7.2.1 半導體刻蝕設備發展狀況1、半導體刻蝕設備發展現狀2、半導體刻蝕設備發展趨勢7.2.2 半導體刻蝕設備領域半導體設備零部件應用概述7.2.3 半導體刻蝕設備領域半導體設備零部件市場現狀7.2.4 半導體刻蝕設備領域半導體設備零部件需求潛力7.3 半導體設備零部件細分應用：薄膜沉積設備7.3.1 薄膜沉積設備發展狀況1、薄膜沉積設備發展現狀2、薄膜沉積設備發展趨勢7.3.2 薄膜沉積設備領域半導體設備零部件應用概述7.3.3 薄膜沉積設備領域半導體設備零部件市場現狀7.3.4 薄膜沉積設備領域半導體設備零部件需求潛力7.4 半導體設備零部件細分應用：半導體光刻設備7.4.1 半導體光刻設備發展狀況1、半導體光刻設備發展現狀2、半導體光刻設備發展趨勢7.4.2 半導體光刻設備領域半導體設備零部件應用概述7.4.3 半導體光刻設備領域半導體設備零部件市場現狀7.4.4 半導體光刻設備領域半導體設備零部件需求潛力7.5 半導體設備零部件細分應用：其他7.5.1 離子注入設備7.5.2 半導體拋光設備7.5.3 半導體清洗設備7.5.4 半導體封測設備7.6 中國半導體設備零部件行業細分應用市場戰略地位分析第8章：全球及中國半導體設備零部件企業案例解析8.1 全球及中國半導體設備零部件企業梳理與對比8.2 全球半導體設備零部件企業案例分析（不分先后，可指定）8.2.1 美國MKS儀器1、企業基本信息2、企業經營情況3、企業業務架構及半導體設備零部件業務布局4、企業全球市場布局及在華策略8.2.2 德國ZEISS1、企業基本信息2、企業經營情況3、企業業務架構及半導體設備零部件業務布局8.2.3 英國Edwards1、企業基本信息2、企業經營情況3、企業業務架構及半導體設備零部件業務布局4、企業全球市場布局及在華策略8.2.4 日本Horiba1、企業基本信息2、企業經營情況3、企業業務架構及半導體設備零部件業務布局4、企業全球市場布局及在華策略8.2.5 荷蘭ASML1、企業基本信息2、企業經營情況3、企業業務架構及半導體設備零部件業務布局4、企業全球市場布局及在華策略8.3 中國半導體設備零部件企業案例分析（不分先后，可指定）8.3.1 沈陽富創精密設備股份有限公司1、企業基本信息2、企業經營情況3、企業業務架構/營收結構4、企業半導體設備零部件產品研發&生產5、企業半導體設備零部件產品銷售&競爭6、企業半導體設備零部件產品應用&解決方案7、企業業務布局戰略&優劣勢8.3.2 昆山新萊潔凈應用材料股份有限公司1、企業基本信息2、企業經營情況3、企業業務架構/營收結構4、企業半導體設備零部件產品研發&生產5、企業半導體設備零部件產品銷售&競爭6、企業半導體設備零部件產品應用&解決方案7、企業業務布局戰略&優劣勢8.3.3 蘇州華亞智能科技股份有限公司1、企業基本信息2、企業經營情況3、企業業務架構/營收結構4、企業半導體設備零部件產品研發&生產5、企業半導體設備零部件產品銷售&競爭6、企業半導體設備零部件產品應用&解決方案7、企業業務布局戰略&優劣勢8.3.4 寧波江豐電子材料股份有限公司1、企業基本信息2、企業經營情況3、企業業務架構/營收結構4、企業半導體設備零部件產品研發&生產5、企業半導體設備零部件產品銷售&競爭6、企業半導體設備零部件產品應用&解決方案7、企業業務布局戰略&優劣勢8.3.5 上海萬業企業股份有限公司1、企業基本信息2、企業經營情況3、企業業務架構/營收結構4、企業半導體設備零部件產品研發&生產5、企業半導體設備零部件產品銷售&競爭6、企業半導體設備零部件產品應用&解決方案7、企業業務布局戰略&優劣勢8.3.6 北京華卓精科科技股份有限公司1、企業基本信息2、企業經營情況3、企業業務架構/營收結構4、企業半導體設備零部件產品研發&生產5、企業半導體設備零部件產品銷售&競爭6、企業半導體設備零部件產品應用&解決方案7、企業業務布局戰略&優劣勢8.3.7 四川英杰電氣股份有限公司1、企業基本信息2、企業經營情況3、企業業務架構/營收結構4、企業半導體設備零部件產品研發&生產5、企業半導體設備零部件產品銷售&競爭6、企業半導體設備零部件產品應用&解決方案7、企業業務布局戰略&優劣勢8.3.8 河北中瓷電子科技股份有限公司1、企業基本信息2、企業經營情況3、企業業務架構/營收結構4、企業半導體設備零部件產品研發&生產5、企業半導體設備零部件產品銷售&競爭6、企業半導體設備零部件產品應用&解決方案7、企業業務布局戰略&優劣勢8.3.9 北方華創科技集團股份有限公司1、企業基本信息2、企業經營情況3、企業業務架構/營收結構4、企業半導體設備零部件產品研發&生產5、企業半導體設備零部件產品銷售&競爭6、企業半導體設備零部件產品應用&解決方案7、企業業務布局戰略&優劣勢8.3.10 沈陽新松機器人自動化股份有限公司1、企業基本信息2、企業經營情況3、企業業務架構/營收結構4、企業半導體設備零部件產品研發&生產5、企業半導體設備零部件產品銷售&競爭6、企業半導體設備零部件產品應用&解決方案7、企業業務布局戰略&優劣勢——展望篇——第9章：中國半導體設備零部件行業發展環境洞察&SWOT分析9.1 中國半導體設備零部件行業經濟（Economy）環境分析9.1.1 中國宏觀經濟發展現狀9.1.2 中國宏觀經濟發展展望9.1.3 半導體設備零部件行業發展與宏觀經濟相關性分析9.2 中國半導體設備零部件行業社會（Society）環境分析9.2.1 中國半導體設備零部件行業社會環境分析9.2.2 社會環境對半導體設備零部件行業發展的影響總結9.3 中國半導體設備零部件行業政策（Policy）環境分析9.3.1 國家層面半導體設備零部件行業政策規劃匯總及解讀（指導類/支持類/限制類）1、國家層面半導體設備零部件行業政策匯總及解讀2、國家層面半導體設備零部件行業規劃匯總及解讀9.3.2 部分省市半導體設備零部件行業政策規劃匯總及解讀（指導類/支持類/限制類）1、部分省市半導體設備零部件行業政策規劃匯總2、部分省市半導體設備零部件行業發展目標解讀9.3.3 國家“十四五”規劃對半導體設備零部件行業發展的影響9.3.4 政策環境對半導體設備零部件行業發展的影響總結9.4 中國半導體設備零部件行業SWOT分析（優勢/劣勢/機會/威脅）第10章：中國半導體設備零部件行業市場前景及發展趨勢洞悉10.1 中國半導體設備零部件行業發展潛力評估10.2 中國半導體設備零部件行業未來關鍵增長點10.3 中國半導體設備零部件行業發展前景預測（未來5年預測）10.4 中國半導體設備零部件行業發展趨勢洞悉10.4.1 市場競爭趨勢10.4.2 技術創新趨勢10.4.3 細分市場趨勢第11章：中國半導體設備零部件行業投資戰略規劃策略及建議11.1 中國半導體設備零部件行業進入與退出壁壘11.1.1 半導體設備零部件行業進入壁壘分析1、資金壁壘2、技術壁壘3、準入壁壘4、人才壁壘5、客戶認證壁壘11.1.2 半導體設備零部件行業退出壁壘分析11.2 中國半導體設備零部件行業投資風險預警11.2.1 周期性風險11.2.2 成長性風險11.2.3 產業關聯度風險11.2.4 市場集中度風險11.2.5 行業壁壘風險11.2.6 宏觀政策風險11.3 中國半導體設備零部件行業投資機會分析11.3.1 半導體設備零部件產業鏈薄弱環節投資機會11.3.2 半導體設備零部件行業細分領域投資機會11.3.3 半導體設備零部件行業區域市場投資機會11.3.4 半導體設備零部件產業空白點投資機會11.4 中國半導體設備零部件行業投資價值評估11.5 中國半導體設備零部件行業投資策略建議11.6 中國半導體設備零部件行業可持續發展建議圖表目錄圖表1：半導體設備零部件的定義圖表2：半導體設備零部件專業術語圖表3：半導體設備零部件的特征圖表4：本報告研究領域所處行業（一）圖表5：本報告研究領域所處行業（二）圖表6：半導體設備零部件所在環節圖表7：半導體設備零部件行業分類圖表8：本報告研究范圍界定圖表9：本報告quanwei數據資料來源匯總圖表10：本報告的主要研究方法及統計標準說明圖表11：全球半導體設備零部件行業發展歷程圖表12：全球半導體設備零部件行業專利情況圖表13：全球半導體設備零部件行業先進技術進展圖表14：全球半導體行業整體市場規模圖表15：全球半導體設備行業整體市場規模圖表16：全球半導體設備零部件行業整體市場規模圖表17：全球半導體設備零部件行業細分市場結構圖表18：全球半導體設備零部件行業細分市場規模圖表19：全球半導體設備零部件行業競爭格局圖表20：全球半導體設備零部件企業成長路徑分析圖表21：全球半導體設備零部件行業市場份額圖表22：全球半導體設備零部件行業投融資情況圖表23：全球半導體設備零部件行業兼并重組圖表24：全球半導體設備零部件區域發展格局圖表25：重點區域市場分析：美國圖表26：重點區域市場分析：歐洲圖表27：重點區域市場分析：日本圖表28：國外半導體設備零部件發展經驗借鑒圖表29：全球半導體設備零部件行業市場前景預測（未來5年預測）圖表30：全球半導體設備零部件行業發展趨勢洞悉圖表31：中國半導體設備零部件行業發展歷程圖表32：《2022美國芯片法案》的負面影響圖表33：美國對華半導體行業的限制措施圖表34：美國對華技術打壓影響分析圖表35：日本對華半導體行業的限制措施圖表36：日本對華技術打壓影響分析圖表37：荷蘭對華半導體行業的限制措施圖表38：荷蘭對華技術打壓影響分析圖表39：美日荷對華技術限制及打壓影響總結圖表40：國家基金對中國半導體產業的扶持投入圖表41：機械類產品企業專利申請情況圖表42：機電一體類企業專利申請情況圖表43：光學電氣類企業專利申請情況圖表44：中國半導體設備零部件技術路線及工藝流程圖表45：中國半導體設備零部件關鍵技術現狀與突破圖表46：中國半導體設備零部件行業技術發展方向圖表47：技術環境對半導體設備零部件行業的影響圖表48：半導體設備零部件的商業模式圖表49：中國半導體設備零部件行業生產企業圖表50：半導體設備零部件的生產模式圖表51：中國半導體設備零部件行業產能情況圖表52：中國半導體設備行業產品結構圖表53：中國半導體設備行業應用領域圖表54：中國半導體設備行業市場規模圖表55：中國半導體設備行業對零部件的影響圖表56：中國大陸晶圓制造產能及擴展情況圖表57：中國大陸晶圓制造對半導體設備零部件需求情況圖表58：中國半導體設備零部件行業客戶認證體系圖表59：中國半導體設備零部件行業市場價格圖表60：中國半導體設備行業整體國產化率圖表61：中國半導體設備細分產品國產化率圖表62：中國半導體設備零部件國產化率圖表63：中國半導體行業不同環節國產化率對比圖表64：半導體設備零部件行業市場規模體量分析圖表65：中國半導體設備零部件行業發展痛點及挑戰圖表66：半導體設備零部件競爭者入場進程圖表67：半導體設備零部件企業戰略集群狀況圖表68：半導體設備零部件競爭者區域分布熱力圖圖表69：半導體設備零部件競爭者發展戰略布局狀況圖表70：半導體設備零部件市場競爭態勢圖表71：半導體設備零部件市場競爭格局圖表72：半導體設備零部件市場集中度圖表73：半導體設備零部件行業供應商的議價能力圖表74：半導體設備零部件行業消費者的議價能力圖表75：半導體設備零部件行業新進入者威脅圖表76：半導體設備零部件行業替代品威脅圖表77：半導體設備零部件行業現有企業競爭圖表78：半導體設備零部件行業競爭狀態總結圖表79：中國企業在全球市場的優劣勢分析圖表80：中國企業和海外企業的差異分析圖表81：半導體設備零部件行業主要資金來源圖表82：半導體設備零部件行業投融資主體圖表83：半導體設備零部件行業投融資匯總圖表84：半導體設備零部件行業投融資規模圖表85：半導體設備零部件行業投融資解讀圖表86：半導體設備零部件行業兼并與重組動因及方式圖表87：半導體設備零部件行業兼并與重組事件匯總圖表88：半導體設備零部件行業兼并與重組案例分析圖表89：半導體設備零部件行業兼并與重組案例分析圖表90：半導體設備零部件兼并重組階段、方式及動因圖表91：半導體設備零部件產業鏈結構梳理圖表92：半導體設備零部件產業鏈生態圖譜圖表93：半導體設備零部件產業鏈區域熱力圖圖表94：半導體設備零部件產業價值鏈分析圖圖表95：半導體設備零部件行業成本結構圖表96：半導體設備零部件原材料市場發展現狀圖表97：半導體設備零部件金屬材料圖表98：半導體設備零部件非金屬材料圖表99：半導體設備零部件合金材料圖表100：配套產業布局對半導體設備零部件行業的影響總結圖表101：半導體設備零部件行業細分市場特性圖表102：半導體設備零部件行業細分市場技術門檻圖表103：機械類零部件市場概況圖表104：機械類零部件發展趨勢圖表105：電氣類零部件市場概況圖表106：電氣類零部件發展趨勢圖表107：機電一體類零部件市場概況圖表108：機電一體類零部件發展趨勢圖表109：氣體/液體/真空系統類市場概況圖表110：氣體/液體/真空系統類發展趨勢圖表111：儀器儀表類零部件市場概況圖表112：光學類零部件市場概況圖表113：定制裝置市場概況圖表114：中國半導體設備零部件行業細分市場戰略地位分析圖表115：中國半導體設備零部件細分應用設備分布圖表116：中國半導體設備零部件細分應用市場結構圖表117：半導體刻蝕設備發展現狀圖表118：半導體刻蝕設備發展趨勢圖表119：半導體刻蝕設備領域半導體設備零部件應用概述圖表120：半導體刻蝕設備領域半導體設備零部件市場現狀