質量流量計
TSM-D200系列數字式氣體質量流量計，滿足從5mL/min~5000L/min的寬范圍氣體量程監測，同時支持傳統模擬量和RS485數字信號，滿足大部分氣體控制的通用需求，氣體通路為不銹鋼材質，適用于所有氣體或高壓環境。
特點
實時確認流量和動作狀態
響應速度快、精度高
對外部環境變化的穩定性強
可選本體顯示模塊和累計流量、及外部PID指令
技術規格
| 型號 | TSM-D210 | TSM-D220 | TSM-D230 | TSM-D240 | TSM-D245 | TSM-D250 | TSM-D260 |
| 流量范圍（N2基準） | 5sccm ~ 1.5slm | 1.5slm~30slm | 30slm~100slm | 100slm~400slm | 400slm~1000slm | 1000slm~2000slm | 2000slm~5000slm |
| 流量測量范圍 | 2 ~ 滿量程 | ||||||
| 精度 | ≤±1%滿量程 | ≤±2%滿量程 | ≤±3%滿量程 | ||||
| 響應速度 | ≤1秒 | ≤2秒 | |||||
| 重復性 | ≤0.2%滿量程 | ≤0.5%滿量程 | |||||
| 密封種類 | Vtion，Vtion-ETP，Kalrez等等 | ||||||
| 電氣連接及信號 | 9針D-Sub公頭 模擬：0-5VDC或4-20mA 數字：RS485 | ||||||
| 電源 | +15VDC~+24VDC | ||||||
| 操作溫度 | 操作溫度：5-50℃（推薦15~35℃） | ||||||
| 預熱時間 | 15分鐘（準確度保證：30分鐘） | ||||||
| 法蘭連接 | 1/8"~1"LOK或VCR（根據型號） | 25A或40A | |||||
| 重量 | 0.73Kg | 0.75Kg | 1Kg | 1.71Kg | 4.5Kg | 5.6Kg | 16.9Kg |
產品尺寸