大流量質量流量控制器
VIC-D145系列數字式大流量MFC，流量控制范圍從400L/min至2500L/min，且同時支持傳統模擬量和RS485數字信號，滿足需要超大流量氣體控制工況，氣體通路為不銹鋼材質，適用于所有氣體或高壓環境。
特點
大流量應用
全測量區間內響應速度≤1.5秒
Teflon密封，對有毒及腐蝕性氣體耐久性強
沒有DISK變形，
適用浪涌和過電壓的內部電路設計
維持準確度，溫度變化不敏感
技術規格
| 型號 | VIC-D145 | VIC-D150 | |||
| 流量范圍（N2基準） | 400slm~1000slm | 1000slm~2500slm | |||
| 流量控制范圍 | 2 ~ 滿量程 | ||||
| 精度 | ≤2%滿量程 | ||||
| 響應速度 | ≤1.5秒（10~滿量程） | ||||
| 重復性 | ≤0.2%滿量程 | ||||
| 閥門類型 | 常閉閥 | ||||
| 密封種類 | Vtion，Vtion-ETP，Kalrez等等 | ||||
| 電氣連接及信號 | 9針D-Sub公頭 模擬：0-5VDC或4-20mA 數字：RS485 | ||||
| 電源 | +15VDC~+24VDC | ||||
| 操作溫度 | 操作溫度：5-50℃（推薦15~35℃） | ||||
| 預熱時間 | 15分鐘（準確度保證：30分鐘） | ||||
| 法蘭連接 | 3/8"~1"LOK或VCR（根據型號） | ||||
| 重量 | 6.2Kg | 7.82Kg | |||
產品尺寸
流量壓力事項