XPS測試原理是什么？
XPS測試原理就是藉由光電效應，當X光照射至樣品內部時，原子內層的電子將被激發產生光電子，而只有靠近材料表面的光電子才能逃離被儀器測得。藉由分析此光電子，可得知表面元素組成種類，進而判斷化學鏈結。
XPS測試應用領域有哪些？
1．表面污染/變色之成份分析(Surface Survey) : 樣品表面100A以內的成份分析。
2．表面化學組態分析 (Narrow Scan) : 樣品表面100A以內的元素化學組態鍵結分析。
3．樣品氧化狀況(氧化層厚度及氧化態)分析。
4．多層薄膜縱深分析 (Depth Profile) : 藉由Ar 離子濺蝕樣品的表面，得到不同深度的元素信號之縱深分布。
5．圖譜分析(Mapping) : 分析樣品區域元素信號，得到區域元素分布影像圖。
6．線掃描(Line Scan): 分析樣品直線上的元素信號，得到直線元素分布圖。
7．針對樣品表面更細微的結構進行化學態分析(Chemical State Analysis)、縱深分析(Depth Profile)，滿足科研、教學、企業內部質量控制、企業產品研發等目的。
8．
XPS設備技術參數及測試能力？
1、X射線源：單色化Al Kα射線源，可實現樣品表面聚焦及掃描（10μm~1400μ×1400μm）；
2、測試：可實現低工作功率（1~100W）、小角度（分辨率≤±1°）、溫度可調控（-120℃~500℃）原位測試；
3、Ar離子槍+Ar團簇離子槍：滿足金屬、陶瓷、有機聚合物、復合材料、半導體材料及器件等樣品表面刻蝕、深度剖析；
4、紫外光源UPS：價帶、功函數測試（標樣優于120 meV）；
5、雙束中和系統：獨立調節電子束（低至1~2eV）和離子束，高質量獲譜（PET中O=C-O中C1s FWHM ≤ 0.85eV）；
6、Al/Mg雙陽極可滿足準確的峰位信息辨別需求；
7、多路氣體、高低溫（-196℃~800℃）準原位化學反應。
XPS測試注意事項有哪些？
1、放射性、具有磁性的樣品、在X光照射下會分解的樣品，不能進行測試； 2、樣品尺寸：厚度小于5mm；長寬在10mm X10mm以內；需刻蝕和深剖的樣品**是塊體 3、樣品用量：粉末樣品原則上越細越好，5mg左右即可；對于塊狀（不規則形狀時）樣品，需要送樣人將樣品加工成片狀，上下兩面**互為平行面。 4、樣品需提前干燥，保護測試面，避免測試面被污染。 5、送樣時請注明姓名，聯系，樣品個數以及測試要求等。
XPS測試現場預約請致電：
Helen 尹海英
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深圳市啟威測標準技術服務有限公司
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