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電阻式傳感器是把被測量,如偏移、彎曲、力、瞬時速度、環境濕度、溫度等這種參量變換式成阻值這樣的一種元器件。主要包括電阻器應變力式、壓阻式、熱電偶、熱敏電阻、氣敏、濕敏等電阻式傳感器件。
電阻器應變力式
感應器里的應變片具備金屬應變力效用,則在外力的作用下發生設備彎曲,從而使得阻值隨著產生對應的轉變。應變片主要包括金屬和半導體材料兩大類,金屬材料電阻應變片有鐵絲式、箔式、塑料薄膜式差別。半導體材料電阻應變片具備反應速度快(一般是絲式、箔式的幾十倍)、橫著效用較小優勢。
壓阻式
壓阻式傳感器是依據半導體器件的壓阻效應在半導體的硅片上經蔓延電阻器而制成的元器件。其硅片可以直接做為**測量傳感器元器件,蔓延電阻器在硅片內接成電橋電路方式。當硅片遭受外力的作用而出現彎曲時,各阻值將發生改變,電橋電路會產生相對應的不穩定導出。
作為壓阻式傳感器硅片(或稱閥片)原材料大多為單晶硅片和鍺片,單晶硅片為敏感材料而制成的硅壓阻感應器愈來愈被人們所高度重視,尤其以**測量壓力速度固體壓阻式傳感器應用更為廣泛。