等離子清洗機作為一種微觀固體表面的處理設設備，是一種全新的表面處理方案。等離子體是物質的一種狀態，也叫做物質的第四態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等。等離子清洗機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔等目的。
滾筒等離子清洗機針對粉末或者顆粒的360度表面處理設備，通過旋轉機構帶動石英攪拌罐使樣品處于懸空位置達到360度清洗。
設備型號 | X |
供電電源 | AC220V（AC110V可選) |
工作電流 | 整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵) |
射頻電源功率 | 150W |
匹配方式 | 手動匹配 |
射頻頻率 | 13.56MHz |
耦合方式 | 電容耦合 |
真空度 | ≤50Pa |
腔體材質 | 高純石英 |
腔體容積 | φ100x200mm |
旋轉速度 | 20轉/分鐘 |
傾斜角度 | 60° |
氣體流量 | 0—300ml/min |
真空計量程 | 1E5Pa至1E-1Pa(皮拉尼真空計) |
過程控制 | 手動控制 |
法蘭規格 | φ50不銹鋼法蘭 |
清洗時間 | 0-999秒 |
外形尺寸 | 6mm |
重量 | 56Kg |
真空室溫度 | 小于65°C |
冷卻方式 | 強制風冷 |
標配 | KF16真空管1米，kf16卡箍2個，電源線一根，說明書一本。 |