真空熱處理是將金屬工件在 1個大氣壓以下(即負壓下)加熱的金屬熱處理工藝。20世紀20年代末，隨著電真空技術的發展，
出現了真空熱處理工藝，當時還僅用于退火和脫氣。由于設備的限制，這種工藝較長時間未能獲得大的進展。60～70年代，
陸續研制成功氣冷式真空熱處理爐、冷壁真空油淬爐和真空加熱高壓氣淬爐等，使真空熱處理工藝得到了新的發展。在真空
中進行滲碳，在真空中等離子場的作用下進行滲碳、滲氮或滲其他元素的技術進展，又使真空熱處理進一步擴大了應用范圍。
真空熱處理可用于退火、脫氣、固溶熱處理、淬火、回火和沉淀硬化等工藝。在通入適當介質后，也可用于化學熱處理。
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