箱體 | |
描述 | 材料：不銹鋼1.4301 (SUS type 304), 厚度 3 mm 尺寸: 1200mm(L) x 750mm(W) x 900mm(H) |
體積 | 0.8 m3 |
前窗 | 面板：8 mm厚安全鋼化玻璃 或 10 mm厚度聚碳酸酯 (可供選擇) 尺寸：1123mm(L) x 839mm(H) |
手套口 | 硬鋁合金材質或聚甲醛材料 (可供選擇) 口徑 220 mm, O型圈密封 |
手套 | 材料：丁基橡膠 厚度： 0.4 mm 或 0.8mm(可供選擇) |
過濾器 | 出口和入口過濾器，過濾<0.3μm |
照明 | LED照明位于前窗頂上部 |
泄漏率 | 按照泄漏率< 0.001 vol%/h的標準進行最終驗收測試 |
GP20氣體凈化系統 | |
描述 | 自動去除 H2O 和 O2 ；單凈化柱系統，自動再生（可選GP200雙凈化柱）；密閉的氣體循環管路 |
使用電壓 | AC 230 V / 50-60 Hz, 10 A 或 AC 115 V / 50-60 Hz, 20 A （可供選擇） |
工作氣體 | 工作氣：N2、Ar 、He（純度≥99.999%）；再生氣：H2 占5%—10%，其余的為工作氣（純度≥99.999%） |
真空泵 | 規格：旋片真空泵, 配帶油霧過濾器, 帶氣鎮控制；流量：12 m3/h (7 cfm), 真空度< 2 x 10-3 mbar（可選干泵） |
循環單元 | 無油高速風機；風量：0 - 100 m3/h |
閥門 | 電磁高真空閥門 |
泄漏率 | 按照泄漏率< 0.001 vol%/h的標準進行最終驗收測試 |
控制柜尺寸 | 600mm （L）x 800mm (D) x 870mm（H） |
清洗系統 | |
描述 | 設置好相應時間和壓力，系統可以對箱體自動進行氣體置換。 |