配電系統主要包括照明、電力、通訊和消防等，生產區應當有適度的照明，目視操作區域的照明應當滿足操作要求，燈具、開關和插座等材料要符合潔凈室使用要求，同時保證密封性。除滿足潔凈外，還應考慮節能等。潔凈配電系統的監理要點有：照明燈具選用吸頂式透明罩凈化燈，開關選用潔凈開關，插座選用潔凈插座；電器、電料的包裝應完好，材料外觀不應有破損，附件、備件應齊全；電器、電料的規格、型號應符合設計要求及國家現行電器產品標準的有關規定。
施工過程中的巡檢，潔凈室的配電盤（柜）、控制顯示盤（柜）、開關盒宜采用嵌入式安裝，與墻體之間的縫隙應采用氣密構造；配電盤（柜）、控制盤（柜）的檢修門不宜開在潔凈室內，如必須設在潔凈室內，應為盤、柜安裝氣密門；潔凈室配電系統施工滿足現行國家標準《建筑電氣工程施工質量驗收規范》的要求外，對所采用的材料及施工還應滿足潔凈室的需求；潔凈區用電線路與非潔凈區線路應分開敷設，主要工作（生產）區與輔助工作（生產）區線路應分開敷設；配電盤的金屬框架及基型鋼必須接地PE或接零PEN可靠；照明功率密度現行值應符合設計要求，其凈化區主要工作場所照度不低于300 LX，凈化區輔助工作室、走廊、人員凈化室和物料凈化室150～200 LX，非凈化區辦公室、儀器室和化驗室照度不低于300 LX，其中配電間照度不低于200 LX；安裝電源插座時，面向插座的左側應接零線（N），右側應接相線（L），中間上方應接保護地線（PE）；潔凈室內的電氣管道應暗敷，管道材料采用非燃材料。