BROOKS質量流量控制器。
布魯克斯質量流量設備在全球得到廣泛應用的關鍵原因：創新型 MultiFlo 技術可使一臺設備完成氣體類型和量程的切換工作并且無需從系統中拆除設備，同時還能夠提升過程氣體的測量準確性；擁有業內種類*齊全的產品系列可滿足各種應用需求。
關鍵應用：用于生物制藥的生物反應器，石化和化工氣體和液體試驗工廠，薄膜淀積系統。
金屬密封熱式質量流量控制器，Z高純度氣路。
適用于對濕度或氧氣敏感的過程，高純度流路可*大限度降低過程污染，提高產率。
5850EM 系列，經驗證長期穩定，超純潔凈體系，適用于高壓應用。
流量范圍寬 - 3 sccm 至高達 30,000 slpm，可選增強型內部后處理工藝 - 5μ 英寸 Ra（平均值），不受安裝角度影響。
5964, 5850EM 系列，用于要求非常低泄漏和高性能的氣流處理系統。
5964 和 5850EM 系列采用金屬密封或焊接接頭，確保高純度和高真空的泄漏完整性應用。
減少內螺紋的數量使設計不易受到系統污染。
快速響應控制允許快速的氣體沉降時間，Z大限度地減少過沖/下沖。
100 級潔凈室組裝和校準（可選 5850EM）。
增強工藝（7 Ra）內表面光潔度（可選 5850EM）。
對于帶常閉閥的 0-**** 指令步驟，小于 3 秒至*終值滿量程的 2%。
BROOKS流量計1350EEB4AEW1A 200 Psi 0-6
BROOKS質量流量計SLAMF51SJ1AB1G2A1P3F1AA
布魯克斯流量控制器SLA5850P1AAB1A2A1
布魯克斯流量計SLA5863S2GAAOC2A1A5D1AA
布魯克斯質量流量控制器1024NJ1N2AA2F9J00001
布魯克斯質量流量計1350/D2D3A1B5B00
BROOKS流量控制器3750CA2A11ADKAFAA0 1500Psi
布魯克斯流量控制器1355EH2JCXG1A，0-30 SLPM
布魯克斯質量流量計MSLA5850SJ1AB1C2A1
布魯克斯質量流量控制器SLA5851S1AAB1C2A1T3FAAA
BROOKS質量流量計SLA5853S20AB2C2A1
BROOKS流量計3809E11CADAA1A1
BROOKS流量控制器FBR1
布魯克斯流量控制器5851S/BD1DA11D0AA1
布魯克斯流量計SLAMF53S2HAB3G2A1
BROOKS質量流量控制器SLAMF63S/AL1YA0BC1KA1B1
布魯克斯質量流量計MF64S/AS4DA0BA0JA1B1
BROOKS質量流量計MR3A15SVVT
BROOKS流量計GF040CXXC-0008200C-T1AVP4-XXXXAX-70F
BROOKS流量控制器2001E7CG4BB1BB/209-166
布魯克斯流量計SLAMF63S/AL1YA0BC1KA1B1
本公司是國內的進口工業控制、溫度計、流量計、液位計、變送器、傳感器、PLC、泵閥、儀器儀表提供商。
我們為我國的冶金、電力、石油化工、電子、半導體、工業機械、機床、汽車等生產企業和科研院所提供世界知名的工業機電設備儀器儀表，以優惠的價格和完善的售后技術服務在國內公司樹立了良好的形象。
我們的優勢供應產品：羅斯蒙特ROSEMOUNT流量計、西克SICK傳感器、AB模塊、MTS位移傳感器、VEGA液位計、KRACHT齒輪泵、艾默生EMERSON流量計、圖爾克TURCK傳感器、E+H流量計、倍加福P+F傳感器、REXROTH力士樂、HEIDENHAIN海德漢、BECKHOFF倍福、皮爾磁PILZ安全繼電器、易福門IFM傳感器。
美國BROOKS真空計，布魯克斯真空計
美國BROOKS變面積流量計，布魯克斯變面積流量計
美國BROOKS壓力傳感器，布魯克斯壓力傳感器
美國BROOKS壓力計，布魯克斯壓力計
美國BROOKS熱式質量流量計，布魯克斯熱式質量流量計
美國BROOKS轉子流量計，布魯克斯轉子流量計
美國BROOKS壓力控制器，布魯克斯壓力控制器
布魯克斯質量流量控制器（Mass Flow Controller）主要對氣體的流量進行準確測量、并對設定流量進行精準控制。
主要功能部件有質量流量檢測部分、分流器通道、流量控制調節閥、信號處理電路和管道殼體等組成。
質量流量檢測部分采用毛細管傳熱溫差量熱法原理，對測量氣體的質量流量進行檢測。
這種檢測方式的傳感器受溫度壓力的影響甚微，所以無需格外的溫度和壓力補償。
質量流量檢測部件通過傳感器加熱電橋測得的流量信號，通過專用的放大器轉換處理后與設定流量對應的設定電壓進行比較。
比較所得的差值信號放大后去對調節閥進行控制，使檢測到的信號與設定的信號一致。
分流器的作用就是擴大通過流量控制器的流量，從氣體流向來看就是在主通道和毛細管間產生層流。
BROOKS質量流量控制器，包括進氣管路、出氣管路和控制組件，進氣管路和 / 或出氣管路為多條，進氣管路一端為進氣口，另一端與各出氣管路連通，各進氣管路上均設有電位監測元件，控制組件與電位監測元件連接，且控制組件控制進氣管路與出氣管路的氣體流量。
為實現多種氣體先均勻混氣后均勻供氣的目的，可采用本實用設置多條進氣管路和多條出氣管路，控制組件控制每條進氣管路及出氣管路的氣體流量，從而達到混氣均勻和供氣均勻的要求。
質量流量控制器，其特征在于：所述控制組件包括計算控制單元和數據交換模塊，所述控制組件包括計算控制單元和數據交換模塊，所述計算控制單元與所述數據交換模塊連接，所述電位監測元件、所述第一控制閥和所述第二控制閥均與所述計算控制單元連接。