全自動晶圓退火前清洗機設計的系統，獨立系統，占地面積小，非常適合有限的空間。具有4路化學液清洗，兆聲清洗，雙面PVA刷洗，去離子水沖洗等清洗模塊，對晶圓有**的清洗能力。
全自動晶圓退火前清洗機產品特色：
晶圓*大 300mm
PVA雙面刷洗
支持4路化學液清洗，包括氨水與SCI液體
全自動晶圓退火前清洗機工作臺含驅動組件，用于晶圓低速旋轉（50-100 rpm）
化學清洗臂含 4 路化學液
具有去離子水和稀釋氨分配的水坑噴嘴
具有去離子水的 BSR（背面沖洗）噴嘴
全自動晶圓退火前清洗機具有帶有流通孔的工藝室
標配三種不同化學品供應系統
工藝室外的手動去離子水槍。
化學液可加熱，*高可達 60°C（*高85°C ）
外部可更換化學液
全自動晶圓退火前清洗機支持兆聲清洗
支持高壓等離子水沖洗
全自動晶圓退火前清洗機技術數據：
襯底尺寸: ?200 mm (?8 inch) 或 ?300 mm (?12 inch)
電機轉速: *大 3.000 rpm, 步長 1rpm
電機加速: 1 至 999.9 秒，步長 0.1 s
全自動晶圓退火前清洗機工藝腔室: 由 PP 白色制成（可選 PVDF)
