硅基氮化鋁：
@高質量
@大面積
@低成本
產品名稱 | AlN on Si |
基底材料（Substrate） | 500±10um Si(100) |
直徑（inch） | 2、4 可定制 |
AlN外延厚度（Thickness） | 50~200nm |
晶面取向（Orientation） | c-aixs [0001] |
表面粗糙度（nm）(5x5um) | Ra < 1nm (200nm) |
HRXRD半高寬(°) @（0002） | ?。?.5° |
總厚度變化(TTV) | ?。?7um |
翹曲度(Warp) | ?。?0um |
彎曲度(Bow) | -10 ~15um |
包裝（Packaging） | 單片/多片晶圓盒 |