全自動晶圓去蠟清洗機用于清洗已劃片完成的工件，對切割道進行清洗，以便后續UV解膠工作。晶圓清洗機的主要工藝是水清洗、二流體清洗、甩干，其中不同種類工件使用不同的**、壓力等等。本圖紙為成熟產品的圖紙，已在市面上各大公司使用，大部分為國產元器件，對比國外清洗機不僅具有相當強的優勢，且在使用上和工藝上不落下風。
全自動晶圓去蠟清洗機化學清洗槽（也叫酸槽/化學槽），主要有HF，H2SO4，H2O2，去蠟腐蝕設備，HCL等酸堿液體按一定比例配置，目的是為了去除雜質，去離子，去原子，后還有DI清洗。IPA是，就是工業酒精，是用來clean機臺或parts的，是為了減少partical的。
全自動晶圓去蠟清洗機采用等離子處理的優點：
1， 經等離子處理后可增加材料表面張力、增強粘接強度，從而**產品質量；
2， 可替代熱融膠，使用冷粘膠或低牌號普通粘合劑來保證粘結質量。減少膠水使用量，有效降低生產成本；
3， 采用等離子工藝，去蠟清洗設備，可使UV上光、PP覆膜等難粘合材料使用水性膠水都粘得很牢。并淘汰機械打磨、打孔等工序，不產生灰塵、廢屑，符合藥品、食品等包裝衛生安全要求，有利于環保；
4， 等離子處理工藝不會在被處理材料表面留下任何痕跡，肉眼分辨不出來有被處理加工；
5，等離子因為是電離氣體，去蠟清洗機，因而，沒有廢氣廢水等污染物排放，安全環保。
全自動晶圓去蠟清洗機特點:
1.設備清洗方式采用超聲波清洗+旋轉助洗方式，去蠟，可有效清洗產品的盲孔難洗部位，達到預期效果
2.整機采用PLC控制，自動化程度高，清洗干燥過程中無需人工操作，有效減低了勞動強度，節省了人力資源
3.可設定多套清洗工藝，滿足不同產品的清洗要求
4. 全自動晶圓去蠟清洗機主要工藝流程（配旋轉洗蘭）： 洗劑噴淋→洗劑超聲清洗→超聲漂洗→鼓泡漂洗→熱漂洗→離心拋干+熱風攪拌→熱風循環干燥→真空干燥→靜電消
