XP-703DⅢ半導體材料氣體檢測
XP-703DⅢ半導體材料氣體檢測儀
檢測對象：H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3
檢測濃度：1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm
XP-703DⅢ應用行業：半導體制造
XP-703DⅢ檢測原理：熱線型半導體式
采樣方式：自動吸引式
XP-703DⅢ產品特點
· 小型·輕量
· 可以檢查非常微量的氣體泄漏
· 適合氫氣相關設備的安全防護
· 搭載的泵有自動停止功能
· 搭載[自動氣體排氣模式]功能
· 保護等級約為IP22（JIS C 0920）※安裝皮套時
產品用途
· 半導體工廠/石油化學工廠等
· 在使用半導體材料氣體/毒性氣體的現場進行泄漏檢測
產品參數